种微孔真空吸盘工作台的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种微孔真空吸盘工作台,属于机械设备领域。
【背景技术】
[0002]划片刀用于精密加工,由于它的损耗速度非常快,因此需求量非常大。生产划片刀需要使用晶圆划片机,目前我国*有少数的几家工厂拥有这种设备,在生产过程中发现,现有技术的晶圆划片机的工作台寿命较短,由于其结构的不合理通常I?6个月即会变形,在生产过程中,随温度变化也会变形加快。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型的目的在于,提供一种微孔真空吸盘工作台,它能够解决现有技术的不足,提供一种结构更合理,使用寿命更长的工作台。 产品种类:陶瓷柱塞、陶瓷泵芯、陶瓷阀芯、陶瓷活塞、陶瓷轴套、陶瓷吸盘、微孔陶瓷等.深圳新款微孔陶瓷真空吸盘生产厂家
D、加压速度和保压时间加压速度和保压时间控制不好也会造成氧化锆坯体出现分层等缺点。压模下落的速度应缓慢一些,如加压速度过快,则坯体中气体不易排出,从而导致坯体出现分层,表面致密而中间松散,以及存在气泡等现象。如保压时间过短,则压力还未传到应有的深度时,外力就已卸掉,这样坯体中气体不易排出,就难以得到较为理想的坯体,会导致坯体出现分层以及存在气泡等现象。同时保压时间应均匀一致,否则会引起产品厚薄不均,造成废品。E、脱模方式和脱模速度干压脱模时一般采用工具将坯体从模腔中顶出,脱模速度要均匀缓慢,如不注意会引起坯体开裂。实践表明脱模时脱模工具要平整,否则会引起坯体受力不均而造成开裂。总之,干压成型和上述几方面因素都有关系,要成型出理想的坯体,以上各方面都要控制好。 深圳新款微孔陶瓷真空吸盘生产厂家固定盘连接在旋转器上,被固定物可以随着固定盘一起旋转。
高致密性陶瓷真空吸盘(多孔陶瓷真空吸盘),特殊的多孔陶瓷材料其孔径为2~3微米,不易阻塞真空力大,部份面积吸附,同时也可作气浮平台,广泛应用半导体、面板、雷射制程及非接触线性滑轨。多孔陶瓷真空吸盘是密封的空气来维持传输,装置应用***用于平坦,无孔表面的工作平台。使用者通常是机器操作员。在金属加工领域,这是一项安全可靠的工件传输。自动化搬运、对象吸取、定位、精密网板印刷用工作台,利用孔洞透气性陶瓷(氧化铝或碳化硅)接上真空吸力,将工作物(包括晶圆、玻璃、PET膜或其他薄型工作物)放置陶瓷工作吸盘上,利用真空吸力使工作物固定,进行清洗、切割、研磨、网版印刷及其他加工程序。微孔真空陶瓷工作盘是各种半导体片生产过程中用于吸附及承载的**工具,应用于减薄、划片、清洗、搬运等工序。Fountyl公司生产的工作盘可以和日本、德国、以色列、美国及国产的设备配套使用,具有优越的性能价格比。
前驱体法优点是:产物尺寸均一,品质好。缺点是:前驱体的处理比较繁琐,无法进行连续生产。6、模板诱导-水热法模板诱导-水热法是将模板法和水热法结合起来,以硫酸铝为前驱体加入模板剂制备了薄水铝石陶瓷,并经1200℃煅烧制得了α-Al2O3陶瓷。模板剂加入的作用是:(1)降低水热反应的温度;(2)控制前驱体形貌,制备高长径比Al2O3陶瓷。二、氧化铝陶瓷应用1、金属基复合材料氧化铝陶瓷与金属具有良好的界面相容性,被认为是金属基复合材料比较好的增强材料。氧化铝陶瓷增强的金属基复合材料具有**度和耐磨、耐热冲击能力及低的热膨胀系数等优良性能,已在汽车活塞槽部件和旋转气体压缩机叶片中得到应用,有利于改善汽车发动机性能,提高发动机使用效率和燃烧速率,减少废气排放量。 可以耐高温,抗静电,低留痕,耐化学品,吸力大.
高致密性陶瓷真空吸盘(多孔陶瓷真空吸盘),特殊的多孔陶瓷材料其孔径为2~3微米,不易阻塞真空力大,部份面积吸附,同时也可作气浮平台,广泛应用半导体、面板、雷射制程及非接触线性滑轨。多孔陶瓷真空吸盘是密封的空气来维持传输,装置应用***用于平坦,无孔表面的工作平台。产品种类:陶瓷柱塞、陶瓷泵芯、陶瓷阀芯、陶瓷活塞、陶瓷轴套、陶瓷吸盘、微孔陶瓷等;材料:氧化铝、氧化锆、氮化硅、碳化硅。使用者通常是机器操作员。在金属加工领域,这是一项安全可靠的工件传输。 微孔陶瓷真空吸盘 微孔陶瓷,种类微孔陶瓷特性微孔,透气.深圳新款微孔陶瓷真空吸盘生产厂家
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冷冻干燥工艺
在该工艺中,让冰将柱状的凝胶包围和隔离着,并且控制溶液中冰的生长方向为单向生长,冰溶化后纤维就形成了。在另外一种制备孔陶瓷的冻干工艺中,溶剂是直接由固态到气态升华而排除的。通过控制金属盐溶液的冷冻方向获得了方向性好、气孔率很高(>90%)的多孔陶瓷。
自蔓延高温合成(SHS) 工艺
燃烧合成, 又称自蔓延高温合成用燃烧合成技术制备多孔材料的主要过程是放热反应,化学反应释放出来的热量维持反应的自我进行,合成新物质的同时获得了所期望的多孔材料,包括具有一定形状的多孔材料。燃烧合成过程总是伴随着烧结现象,烧结体的孔隙度很高,可以达到50%左右,甚至更高。SHS与常规方法相比主要有以下特点和优势:合成反应过程迅速,能大量节省能源,产品纯度高,工艺相对简单,适合于制备各类无机材料。SHS 存在的主要不足之处是反应快迅速,试样的烧结尺寸难以控制。 深圳新款微孔陶瓷真空吸盘生产厂家
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