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d4)的多个vcsel的第四区域608。孔径宽度d1-d4中的每个孔径宽度可以彼此相差相同的数量。例如，孔径宽度d1-d4中的每个孔径宽度可以相差500nm、1μm、2μm、或3μm。在另一示例中，孔径宽度d1-d4可以是给定范围(例如，1μm到10μm)内的任意值。在所示出的具有不同孔径宽度的vcsel阵列的四个区域的示例中(产生四个不同的斑点图案)，总斑点噪声降低大约50％尽管图6示出了*四个区域，但是衬底302的表面上可包括分别具有给定孔径宽度的vcsel阵列的任意数目的区域。另外，每个区域可以具有任何形状或大小。在一些实施例中，任意区域可以部分或完全地与任何其他区域重叠。亚波长结构集成与几何光学相比，亚波长结构(sws)提供了在更小的尺度上实现几乎平坦的无相差光学的可能。sws可以由操纵光的波阵面、极化、或强度的亚波长散射器阵列构成。像大多数基于衍射的光学设备一样，sws通常被设计为比较好在一个波长或窄波长范围内操作。sws的一个示例包括电介质传输阵列，湖北热红外透镜定制价格，该电介质传输阵列提供偏振和相位的亚波长空间控制和高发射，湖北热红外透镜定制价格。这些设备基于制造在平面衬底上的具有不同几何形状的高折射率介电纳米谐振器(散射器)的亚波长阵列，湖北热红外透镜定制价格。具有各种几何形状的散射器向所发送的光赋予不同的相位。太阳灶菲涅尔透镜24小时服务客服电话。湖北热红外透镜定制价格
来自具有不同波长的两个波束的斑点图案变得不相关。这意味着应该设计各种vcsel的孔径宽度以使得vcsel之间的发射波长差由下式给出：δλ≥λ2/2z(1)其中，z是物体的照明表面的表面剖面高度变化。对于940nm的示例峰值发射波长和z＝，波长差应≥。图5是示出根据实施例的具有不同孔径宽度的两个不同vcsel阵列的激光光谱的图表。顶部的光谱是从***vcsel阵列测得的，其中每个vcsel结构具有4μm的孔径宽度。底部的光谱是从第二vcsel阵列测得的，其中每个vcsel结构具有2μm的孔径宽度。从光谱可以看出，具有较大孔径大小的***vcsel阵列包括两种横向激光模式和具有973nm左右的峰值波长的主导模式。与之对照，第二vcsel阵列*包括其峰值波长在972nm左右的单个激光模式。通过改变孔径大小，可以改变横向激光模式的数目和发射的峰值波长，从而产生不同的斑点图案。图6示出了根据实施例的具有衬底302的光源的另一示例，其中，该衬底包括具有不同孔径宽度的vcsel结构的各种区域。衬底302包括具有***孔径宽度(d1)的多个vcsel的***区域602、具有第二孔径宽度(d2)的多个vcsel的第二区域604、具有第三孔径宽度(d3)的多个vcsel的第三区域606、以及具有第四孔径宽度。吉林制造红外透镜定做价菲涅尔透镜图材料模板有哪些？
图3示出了根据实施例的光源202或者光源202的至少一部分的自顶向下的视图。光源202包括衬底302，该衬底具有布置在衬底302的表面上的多个vcsel结构304。在一些实施例中，衬底302可以是：包括第iv族半导体材料(例如，si、ge、sige)、第iii-v族半导体材料(例如，gaas、gaassb、gaasin)、和/或根据本公开将明白的任何一种或多种其他适当材料的大块衬底；绝缘体上的x(xoi)结构，其中，x是前述材料(例如，第iv和/或iii-v族半导体材料)之一，绝缘体材料是氧化物材料或介电材料或者一些其他电绝缘材料，从而xoi结构包括两个半导体层之间的电绝缘材料层；或者一些其他适当的多层结构，其中，顶层包括前述半导体材料(例如，第iv和/或iii-v族半导体材料)之一。这里使用的“第iv族半导体材料”(或“第iv族材料”或统称“iv”)在包括至少一种第iv族元素(例如，硅、锗、碳、锡)，例如，硅(si)、锗(ge)、硅锗(sige)等。这里使用的“第iii-v族半导体材料”(或“第iii-v族材料”或统称“ii-v”)包括至少一种第iii族元素(例如，铝、镓、铟)和至少一种第v族元素(例如，氮、磷、砷、锑、铋)，例如，砷化镓(gaas)、砷化镓铟(ingaas)、砷化铝铟(inalas)、磷化镓(gap)、锑化镓(gasb)、磷化铟。
一个或多个vcsel结构具有顶层，并且激光源进一步包括在一个或多个vcsel结构中的至少一个vcsel结构的顶层上的多个亚波长结构。示例9包括示例8的主题，其中，一个或多个亚波长结构包括芯材和壳材，该壳材被放置在芯材的一个或多个表面上，该壳材具有比芯材高的折射率。示例10是一种光投影仪系统。该光投影仪系统包括：激光源，被配置为生成向物体发送的辐射；以及图像传感器，被配置为接收从物体反射的辐射。激光源包括衬底、一个或多个***vscel结构、以及一个或多个第二vcsel结构。一个或多个***vcsel结构在衬底的表面上，每个***vcsel结构具有***孔径宽度并且单独地在衬底的表面上方延伸。一个或多个第二vcsel结构在衬底表面上，每个第二vcsel结构具有不同于***孔径宽度的第二孔径宽度并且单独地在衬底的表面上方延伸。示例11包括示例10的主题，其中，一个或多个***vcsel在衬底的表面上的***区域中，一个或多个第二vcsel在衬底的表面上的不同于***区域的第二区域中。示例12包括示例10或11的主题，其中，一个或多个***vcsel和一个或多个第二vcsel在衬底的表面上的伪随机图案中。示例13包括示例10至12中任一项的主题，其中。菲涅尔透镜技术工厂直销；
将其波阵面形成为期望的形式。当诸如柱体或圆柱之类的中心对称亚波长特征被用作散射器时，sws设备可以利用非偏振光(像来自vcsel一样)进行操作。图7示出了具有衬底302的示例光源，其中，该衬底302具有多个vcsel结构702。根据实施例，多个sws704被图案化在一个或多个vcsel结构702的上表面上或其附近。提供sws704以改变从给定vcsel结构702的上表面发射的光的相位。可以横跨vcsel结构702的表面不同地改变相位，以使得一些区域创建发射光的相长干涉同时其他区域创建发射光的相消干涉。通过控制相长/相消干涉的区域所在的位置，还可以控制发射光的波束形状(例如，图案)。可以例外地使用高折射率材料(>)来形成sws704。例如，用于波束成形的sws已经被开发用于使用诸如硅之类的高折射率材料的近红外光。下面的表1提供了不同可见光波长(460nm-蓝、550nm-绿、以及650nm-红)下的各种材料的折射率。诸如硅之类的材料可以具有高折射率，但是这些材料还可以吸收可见范围(例如，红、绿、蓝)中的不期望的大百分比的入射光(例如，40％或更多)。一直认为可见波长透明材料(例如，折射率大约为(si3n4))不具有足够高的折射率来支持有效地操纵光学波振面所需要的光学谐振。诸如氧化钛。菲涅尔透镜效率代理价格。吉林制造红外透镜定做价
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第二波长比***波长短，第二数目的横向模式比***数目的横向模式少。示例20包括示例19中任一项的主题，其中，第二数目的横向模式*包括单个横向模式。示例21包括示例17至20中任一项的主题，进一步包括将斑点噪声降低大约50％。示例22包括示例17至21中任一项的主题，进一步包括从布置在衬底上的一个或多个第三vcsel结构发射具有第三波长的辐射，第三波长不同于***波长和第二波长。示例23是一种激光源。该激光源包括衬底、vcsel结构、以及多个亚波长结构。vcsel结构在衬底的表面上并且在衬底的表面上延伸。多个亚波长结构在vcsel结构的顶层上。多个亚波长结构中的一个或多个亚波长结构包括芯材和在该芯材的一个或多个表面上的壳材。示例24包括示例23的主题，其中，多个亚波长结构包括圆柱状结构。示例25包括示例24的主题，其中，每个亚波长结构具有λ/10到λ/5之间的直径，其中，λ是该vcsel结构的峰值输出波长。示例26包括示例23至25中任一项的主题，其中，壳材具有比芯材高的折射率。示例27包括示例26的主题，其中，壳材包括氧化钛，并且芯材包括氮化硅。示例28包括示例23至27中任一项的主题，其中，壳材*在芯材的侧壁上。示例29包括示例23至28中任一项的主题，其中。湖北热红外透镜定制价格
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