因此使用词语“顶”并不将该层限制到任何具体的空间或几何关系。本文描述的任意vcsel结构可以包括用于操控光输出的一个或多个元原子800。应该理解的是,为了清楚起见*示出了单个元原子,陕西红外透镜设计,但是任意数目的元原子可以被图案化在顶层802上。尽管在本实施例中示出了圆柱形状,但是任意形状可以用于元原子800。元原子800可以具有基于来自vcsel的发射光的峰值波长的直径。例如,陕西红外透镜设计,元原子800可以具有范围在λ/10到λ/5之间的总直径。类似地,元原子800的总厚度取决于来自vcsel的发射光的峰值波长。例如,元原子800可以具有大约λ/2的厚度。芯材804可以是具有相对较低的折射率但是高沉积速率的材料,因此提高了制造元原子800时的吞吐量。例如,芯材804可以是氮化硅(si3n4),并且可以使用化学气相沉积(cvd)或物***相沉积(pvd)技术沉积。随后可以使用标准等离子体蚀刻工艺对所沉积的氮化硅层进行蚀刻,以形成每个元原子800的芯材804。壳材806可以是具有相对较高的折射率(或者至少比芯材804的折射率高)的材料。例如,诸如氧化钛(tio2)或硅之类的材料可被用于壳材806,并且可以通过使用原子层沉积(ald)技术来非常薄地沉积,陕西红外透镜设计。ald允许壳材806以非常薄的厚度共形地覆盖芯材804的外表面上。菲涅尔透镜缩小材料分类。陕西红外透镜设计
本申请大体涉及成像领域,具体地涉及高计算效率的结构化光成像系统。背景技术:创建3d图像的一种途径被称为结构化光照明(sli)技术。在sli技术中,光图案被投射到3d物体表面上。sli系统包括相机和投影仪(照明器)。3d物体被放置在与投影仪和相机相距预定距离的参考平面上。在使用中,投影仪将结构化光图案投射到3d物体表面上。结构化光图案可以是一系列条纹线或网格或任何其他图案。当结构化光图案被投射到3d物体表面上时,其被3d物体表面扭曲。相机捕捉在结构化光图案中具有的扭曲的3d物体表面的图像。然后,图像被存储在图像文件中,以供图像处理设备处理。在一些情况下,多个结构化光图案被投影仪(照明器)投射到3d物体表面上,并且具有结构化光图案的3d物体的多个图像被相机捕捉。在图像文件的处理期间,对结构化光图案中的扭曲进行分析,并且执行计算以确定3d物体表面上的各个点相对于参考表面的参考测量结果。这种图像处理使用标准测距或三角测量方法。相机和投影图案之间的三角测量角导致与表面的深度直接相关的扭曲。一旦这些测距技术被用来确定3d物体表面上的多个点的位置,则3d物体的3d数据表示即可被创建。3d物体的数字再造在包括图像识别(例如。广东热红外透镜结构菲涅尔透镜螺距代理价格。
之类的其他材料包括使得它们更适用于操纵光学波振面的更高的折射率,但是这种材料对以5:1至10:1之间的更高纵横比进行制造提出了挑战。下面的表2提供了不同材料的概况,包括它们的折射率、比较大效率的厚度、比较大散射效率、以及可见范围中的光吸收。比较大散射效率是通过使用周期性透射sws作为将垂直入射的平面波偏转到特定衍射级的模型系统计算得出的。从表2可以看出,诸如硅和锗之类的材料具有极好的散射效率和高反射率。但是,这些材料还会由于它们的小带隙而吸收可见范围中的光(并且还将部分地吸收近红外波长)。诸如氧化硅和氧化铝之类的材料在可见范围中几乎是透明的,但是具有较低的散射效率,因此限制了它们作为sws材料候选的有用性。诸如氮化硅和氧化钛之类的材料提供了散射效率和低光吸收率的良好混合。根据实施例,在实现对于**造成本至关重要的高制造吞吐量的同时,制造在可见和/或红外范围中将高光约束和低光吸收结合在一起的新型sws设计(这里称为“元原子(metaatom)”)。图8示出了根据实施例的具有圆柱形状的示例元原子800,其中,芯材804被薄壳材806围绕。元原子800被制造在vcsel结构的顶层802上。顶层802可以是vcsel结构的发出光的任意层。
来自具有不同波长的两个波束的斑点图案变得不相关。这意味着应该设计各种vcsel的孔径宽度以使得vcsel之间的发射波长差由下式给出:δλ≥λ2/2z(1)其中,z是物体的照明表面的表面剖面高度变化。对于940nm的示例峰值发射波长和z=,波长差应≥。图5是示出根据实施例的具有不同孔径宽度的两个不同vcsel阵列的激光光谱的图表。顶部的光谱是从***vcsel阵列测得的,其中每个vcsel结构具有4μm的孔径宽度。底部的光谱是从第二vcsel阵列测得的,其中每个vcsel结构具有2μm的孔径宽度。从光谱可以看出,具有较大孔径大小的***vcsel阵列包括两种横向激光模式和具有973nm左右的峰值波长的主导模式。与之对照,第二vcsel阵列*包括其峰值波长在972nm左右的单个激光模式。通过改变孔径大小,可以改变横向激光模式的数目和发射的峰值波长,从而产生不同的斑点图案。图6示出了根据实施例的具有衬底302的光源的另一示例,其中,该衬底包括具有不同孔径宽度的vcsel结构的各种区域。衬底302包括具有***孔径宽度(d1)的多个vcsel的***区域602、具有第二孔径宽度(d2)的多个vcsel的第二区域604、具有第三孔径宽度(d3)的多个vcsel的第三区域606、以及具有第四孔径宽度。菲涅尔透镜的材料哪里有卖的?
将其波阵面形成为期望的形式。当诸如柱体或圆柱之类的中心对称亚波长特征被用作散射器时,sws设备可以利用非偏振光(像来自vcsel一样)进行操作。图7示出了具有衬底302的示例光源,其中,该衬底302具有多个vcsel结构702。根据实施例,多个sws704被图案化在一个或多个vcsel结构702的上表面上或其附近。提供sws704以改变从给定vcsel结构702的上表面发射的光的相位。可以横跨vcsel结构702的表面不同地改变相位,以使得一些区域创建发射光的相长干涉同时其他区域创建发射光的相消干涉。通过控制相长/相消干涉的区域所在的位置,还可以控制发射光的波束形状(例如,图案)。可以例外地使用高折射率材料(>)来形成sws704。例如,用于波束成形的sws已经被开发用于使用诸如硅之类的高折射率材料的近红外光。下面的表1提供了不同可见光波长(460nm-蓝、550nm-绿、以及650nm-红)下的各种材料的折射率。诸如硅之类的材料可以具有高折射率,但是这些材料还可以吸收可见范围(例如,红、绿、蓝)中的不期望的大百分比的入射光(例如,40%或更多)。一直认为可见波长透明材料(例如,折射率大约为(si3n4))不具有足够高的折射率来支持有效地操纵光学波振面所需要的光学谐振。诸如氧化钛。菲涅尔透镜历史检测技术。广东热红外透镜结构
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