柔性压力传感器的原理:传感器作为一种信息检测与传递的装置,能够把被测量的信息按一定规律和方式转换成电信号或其他形式的信号输出,从而实现信息的收集、传输、处理、分析、显示等。压力传感器是将外界的压力信号转换成其他便于检测的物理信号(如电阻、电压、电容等),长沙防爆压力传感器,以测试肯定压力值或压力变化。压力传感器在触觉感知 、指纹识别,长沙防爆压力传感器、医疗监护、人机界面、物联网等领域有着普遍的应用前景,长沙防爆压力传感器。传统压力传感器以金属、半导体、压电晶体等为主,这些材料大多属于刚性材料。虽然采用这些材料制备压力传感器的技术已经十分成熟, 能够精确测量较大范围内的压力值,但是随着科技的发展和人类需求的提高,其缺点也越来越明显,例如器件体积较大、较重,不能承受较大的形变等。这些缺点阻碍了它们在柔性人机交互、便携式检测、智能机器人等场景下的应用。单电容式压力传感器由圆形薄膜与固定电极构成。长沙防爆压力传感器
从柔性光纤传感器来看,目前国内外许多学者将光纤织入纺织品中,构成光纤传感器,它在感知压力、速度、温度、电场等信号的同时,还不会影响到纺织品本身轻质、柔软的特性。该技术较具替代性的要数天津工业大学提交的一种基于多层复合织物结构的光纤脉搏传感织物及其服装的专利申请。该专利申请是由光纤脉搏传感织物由内层织物、中间层织物、外层织物、柔性填充物和光纤压力敏感单元组成,其可在复杂的电磁辐射环境下,对人体体征进行监测。广州小体积压力传感器供应商碳纳米管具有结晶度高、导电性好、比表面积大、微孔大小可通过合成工艺加以控制。
压阻式压力传感器采用集成电路工艺技术,在硅片上制造出四个等值的薄膜电阻并组成电桥电路,当不受力作用时,电桥处于平衡状态,无电压输出;当受到压力作用时,电桥失去平衡而输出电压,且输出的电压与压力成比例。压阻式压力传感器具有以下特点:①压阻式压力传感器的灵敏系数比金属应变式压力传感器的灵敏度系数要大50-100倍。有的时候压阻式压力传感器的输出不需要放大器就可直接进行测量。②由于它采用集成电路工艺加工,因而结构尺寸小,重量轻。③压力分辨率高,它可以检测出像血压那么小的微压。④频率响应好,它可以测量几十千赫的脉动压力。⑤由于传感器的力敏元件及检测元件制在同一块硅片上,所以它工作可靠,综合精度高,且使用寿命长。⑥由于采用半导体材料硅制作,传感器对温度比较敏感,如不采用温度补偿,其温度误差较大。
柔性电容传感器具有功耗低、稳定性好、可承受变形能力强等特点,在航空航天、生物医学等重要领域具有重要应用前景。针对目前电容传感器灵敏度低的缺点,提出一种利用多孔聚氨酯海绵和碳纳米管作为介电层的电容传感器设计方法,并分析了在聚氨酯海绵介电层中附着碳纳米管对传感器性能的影响。实验结果表明,在聚氨酯海绵介电层中附着碳纳米管可以有效提高介电层的介电常数,提高传感器的基准电容,且其灵敏度约为介电层中未附着碳纳米管电容传感器的7倍。此外,在25℃~60℃范围内该传感器电容值稳定。压阻式柔性压力传感器基于压阻效应的传感器在外力作用下活性材料会变形。
压阻式压力传感器的特点是:灵敏度高,频率响应高;测量范围宽,可测低至10Pa的微压到高至60Mpa的高压;精度高,工作可靠,其精度可达±0.2%~0.02%;易于微小型化,目前国内生产出直径φ1.8~2mm的压阻式压力传感器。目前,应用较为普遍的压力传感器是压阻式压力传感。应变式压力传感器是把压力的变化转换成电阻值的变化来进行测量的,应变片是由金属导体或半导体制成的电阻体,其阻值随压力所产生的应变而变化。常用的压电材料有天然的压电晶体(如石英晶体)和压电陶瓷(如钛酸钡)两大类,它们的压电机理并不相同,压电陶瓷是人造多晶体,压电常数比石英晶体高,但机械性能和稳定性不如石英晶体好。它们都具有较好特性,均是较理想的压电材料。电容式压力传感器采用变电容测量原理,将由被测压力引起的弹性元件的位移变形转变为电容的变化,用测量电容的方法测出电容量,便可知道被测压力的大小。压磁式压力传感器的原理,某些铁磁材料受到外力作用时,引起导磁率变化现象,称作压磁效应。其逆效应称作磁致伸缩效应。柔性薄膜压力传感器的应用是一种基于新型材料采用纳米工艺制备而成的新型压力传感器。长沙防爆压力传感器
柔性传感器则是指采用柔性材料制成的传感器,具有良好的柔韧性。长沙防爆压力传感器
一种柔性薄膜压力传感器的制备方法:为了提高传感器的灵敏度,在高分子材料表面制备微结构,靠微结构之间的接触电阻而使得传感器具有压阻特性的方法被提了出来。目前普遍使用的方法有:采用被刻蚀过的硅片或者带有微结构的叶片等作为模具,将柔性高分子材料如PDMS(聚二甲基硅氧烷)涂覆在模具上,固化后剥离,在高分子材料上形成微结构,而后在微结构上附着一层导电薄膜如石墨烯层;或者在光滑的柔性高分子基片表面使用激光刻蚀或者臭氧/紫外线刻蚀的方法在基片表面形成微结构,同样在微结构表面附着一层导电薄膜。长沙防爆压力传感器
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