经过多年发展,硅光芯片耦合测试系统如今已经成为受到普遍关注的热点研究领域。利用硅的高折射率差和成熟的制造工艺,硅光子学被认为是实现高集成度光子芯片的较佳选择。但是,硅光子学也有其固有的缺点,比如缺乏高效的硅基有源器件,极低的光纤-波导耦合效率以及硅基波导明显的偏振相关性等都制约着硅光子学的进一步发展。针对这些问题,试图通过新的尝试给出一些全新的解决方案。首先我们回顾了一些光波导的数值算法,并在此基础上开发了一个基于柱坐标系的有限差分模式分析器,它非常适合于分析弯曲波导的本征模场。对于复杂光子器件结构的分析,我们主要利用时域有限差分以及波束传播法等数值工具。接着我们回顾了硅基光子器件各项主要的制造工艺和测试技术。重点介绍了几种基于超净室设备的关键工艺,如等离子增强化学气相沉积,电子束光刻以及等离子体干法刻蚀。为了同时获得较高的耦合效率以及较大的对准容差,本论文主要利用垂直耦合系统作为光子器件的主要测试方法。硅光芯片耦合测试系统硅光芯片的好处:稳定性好,精度高。上海振动硅光芯片耦合测试系统机构
硅光芯片耦合测试系统系统,该设备主要由极低/变温控制子系统、背景强磁场子系统、强电流加载控制子系统、机械力学加载控制子系统、非接触多场环境下的宏/微观变形测量子系统五个子系统组成。其中极低/变温控制子系统采用GM制冷机进行低温冷却,实现无液氦制冷,并通过传导冷方式对杜瓦内的试样机磁体进行降温。产品优势:1、可视化杜瓦,可实现室温~4.2K变温环境下光学测试根据测试。2、背景强磁场子系统能够提供高达3T的背景强磁场。3、强电流加载控制子系统采用大功率超导电源对测试样品进行电流加载,较大可实现1000A的测试电流。4、该测量系统不与极低温试样及超导磁体接触,不受强磁场、大电流及极低温的影响和干扰,能够高精度的测量待测试样的三维或二维的全场测量。上海射频硅光芯片耦合测试系统机构硅光芯片耦合测试系统硅光芯片的好处:在一个指令周期内可完成一次乘法和一次加法。
硅光芯片耦合测试系统这些有视觉辅助地初始光耦合的步骤是耦合工艺的一部分。在此工艺过程中,输入及输出光纤阵列和波导输入及输出端面的距离大约是100~200微米,以便通过使用机器视觉精密地校准预粘接间隙的测量,为后面必要的旋转耦合留出安全的空间。旋转耦合技术的原理。大体上来讲,旋转耦合是通过使用线性偏移测量及旋转移动相结合的方法,将输出光纤阵列和波导的的第1个及结尾一个通道进行耦合,并作出必要的更正调整。输出光纤阵列的第1个及结尾一个通道和两个光探测器相联接。
硅光芯片耦合测试系统硅光阵列微调设备,微调设备包括有垂直设置的第1角度调节机构与第二角度调节机构,微调设备可带动设置于微调设备上的硅光阵列在垂直的两个方向实现角度微调。本发明还提供一种光子芯片测试系统硅光阵列耦合设备,包括有微调设备以及与微调设备固定连接的位移台,位移台可实现对探针卡进行空间上三个方向的位置调整。基于光子芯片测试系统硅光阵列耦合方法,可使得硅光阵列良好的对准到芯片端面的光栅区间,从而使得测试过程更加稳定,结果更加准确。芯片耦合封装问题是光子芯片实用化过程中的关键问题。
在光芯片领域,芯片耦合封装问题是光子芯片实用化过程中的关键问题,芯片性能的测试也是至关重要的一步骤,现有的硅光芯片耦合测试系统是将光芯片的输入输出端光纤置于显微镜下靠人工手工移动微调架转轴进行调光,并依靠对输出光的光功率进行监控,再反馈到微调架端进行调试。芯片测试则是将测试设备按照一定的方式串联连接在一起,形成一个测试站。具体的,所有的测试设备通过光纤,设备连接线等连接成一个测试站。例如将VOA光芯片的发射端通过光纤连接到光功率计,就可以测试光芯片的发端光功率。将光芯片的发射端通过光线连接到光谱仪,就可以测试光芯片的光谱等。硅光芯片的耦合端,用于连接激光器单元和硅光芯片。上海单模硅光芯片耦合测试系统服务
硅光芯片耦合测试系统系统为工业客户和院校客户提供经济有效的系统解决方案。上海振动硅光芯片耦合测试系统机构
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